5月26日,金力泰(300225)在投資者互動平臺回復稱國產光刻膠龍頭企業杜爾考特是上海微電子裝備(集團)股份有限公司的合格供應商,超微弧氧化技術可應用于光刻機設備零部件的表面處理與其他半導體芯片集成電路的表面處理上。公司的合資公司上海金杜新材料科技有限公司近日完成了工商注冊手續,目前暫未產生營業收入。

據介紹,超微弧氧化技術是一種鋁、鎂和鈦合金表面納米陶瓷功能化膜制備技術,包括超耐蝕性、超耐磨性、抗力學沖擊以及上述指標優化兼容綜合防護膜的工業化加工技術,可應用于光刻機所使用的鋁合金黑色光學工藝,亦可廣泛應用于其他半導體芯片集成電路領域。

此前,美方加大對華為限制,限制晶圓廠采用美國設備為華為代工。雖然國內設備龍頭在刻蝕機、PVD等領域已有長足進展,但部分產品如光刻機仍待突破,目前在12寸線上還難以形成全套供應體系,已經成為自主可控待突破的最重要一環。

產業鏈人士認為,本次美方禁令會進一步倒逼晶圓廠加大對國產設備材料供應鏈的扶持力度,加速設備材料龍頭的國產替代進程。金力泰(300225)與國產光刻膠龍頭企業杜爾考特合資企業的上海金杜新材料科技有限公司核心技術為超微弧氧化技術,公司表示未來會深入研究超微弧氧化技術,并積極探索該技術未來的應用領域,加快光刻機領域國產替代步伐。