近日，據(jù)央視新聞聯(lián)播報道，在蘇州工業(yè)園區(qū)材料科學(xué)姑蘇實(shí)驗(yàn)室，來自全國的十幾位材料領(lǐng)域研究人員，正圍繞蘇州一家企業(yè)提出的光刻膠技術(shù)難題，開展聯(lián)合攻關(guān)。

據(jù)悉，姑蘇實(shí)驗(yàn)室是江蘇省重點(diǎn)科創(chuàng)實(shí)驗(yàn)室，總投資200個億，實(shí)驗(yàn)室瞄準(zhǔn)國家戰(zhàn)略需求和蘇州未來產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向，匯聚全球科技人才，解決產(chǎn)業(yè)發(fā)展中的卡脖子問題。雖然成立不到一年，但是實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)在高端材料生長系統(tǒng)、人工智能材料大數(shù)據(jù)、光譜成像芯片三個方向取得重要進(jìn)展。

創(chuàng)新是企業(yè)核心競爭力的源泉，很多核心技術(shù)是求不到、買不來的。眾所周知，光刻機(jī)被譽(yù)為半導(dǎo)體制造業(yè)皇冠上的明珠，是發(fā)展國產(chǎn)芯片的關(guān)鍵技術(shù)。而光刻膠作為生產(chǎn)芯片的關(guān)鍵材料、高值耗材產(chǎn)品，目前主要被日本、美國企業(yè)壟斷，成為我國存在著的一大難題。

科技如何自立自強(qiáng)？“卡脖子”的核心技術(shù)如何突破？這一方面需要頂層設(shè)計(jì)支持，另一方面也需要從事實(shí)體經(jīng)濟(jì)的企業(yè)勇于投入科研攻關(guān)。在光刻膠領(lǐng)域，這一趨勢越來越明顯，特別是近年來我國芯片產(chǎn)業(yè)開始高速發(fā)展，對于光刻膠的需求就更加明顯了。

據(jù)知情人士透露，上述提及的攜手姑蘇實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合公關(guān)光刻膠技術(shù)難題的蘇州企業(yè)正是晶瑞股份。據(jù)介紹，晶瑞股份是國內(nèi)最早實(shí)現(xiàn)光刻膠規(guī)模量產(chǎn)的領(lǐng)先企業(yè)，公司致力于打造微電子材料企業(yè)聯(lián)合體，突破中國半導(dǎo)體關(guān)鍵卡脖子材料。目前，公司生產(chǎn)的負(fù)膠已完全實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代，國市占有率達(dá)70%以上，i線光刻膠批量供應(yīng)S公司、長鑫等主流半導(dǎo)體廠。

2021年1月19日，晶瑞股份經(jīng)多方協(xié)商、積極運(yùn)作順利購得的ASML XT 1900 Gi型光刻機(jī)，運(yùn)抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發(fā)實(shí)驗(yàn)室。市場人士分析稱，此舉有助于公司將光刻膠產(chǎn)品序列實(shí)現(xiàn)到ArF光刻膠的跨越，并最終實(shí)現(xiàn)應(yīng)用于12英寸芯片制造的戰(zhàn)略布局。

有數(shù)據(jù)顯示，2019年我國g線/i線光刻膠的自給率僅有20%，KrF光刻膠自給率不足5%，ArF光刻膠則完全依賴進(jìn)口，作為高值耗材的產(chǎn)品，我國每年都需要從海外大量進(jìn)口光刻膠，這顯然是不利于國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的情況。

晶瑞股份表示，目前公司已完成中試的KrF光刻膠已進(jìn)入客戶測試階段，達(dá)到0.15μm的分辨率。后續(xù)，公司將繼續(xù)加強(qiáng)科研攻堅(jiān)，提升關(guān)鍵設(shè)備的技術(shù)先進(jìn)性，加快產(chǎn)品研發(fā)項(xiàng)目，以科技自立自強(qiáng)支撐實(shí)業(yè)的發(fā)展。相信，只要中國企業(yè)能夠腳踏實(shí)地地干下去，就必定可以打破海外的技術(shù)封鎖，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)完全自主。