近日，中科創(chuàng)星持續(xù)投資超表面光子芯片商「山河光電」，本輪為數(shù)千萬元Pre-A輪融資，由舜宇產(chǎn)業(yè)基金和經(jīng)緯創(chuàng)投聯(lián)合領(lǐng)投，老股東中科創(chuàng)星持續(xù)跟投。融資資金將用于產(chǎn)品研發(fā)、團(tuán)隊擴(kuò)充以及小規(guī)模量產(chǎn)。

近年來，超表面（metasurface）與超透鏡（metalens）的研究成為光學(xué)前沿技術(shù)熱點(diǎn)，也是光學(xué)和光子學(xué)領(lǐng)域發(fā)展最快、最具顛覆性的新技術(shù)。

超表面是由大量亞波長單元在二維平面上設(shè)計排布而成的人工結(jié)構(gòu)陣列，能夠?qū)﹄姶挪ㄟM(jìn)行靈活調(diào)控。超透鏡是透鏡功能的超表面，其體積小、重量輕、易于集成，可實(shí)現(xiàn)對入射光振幅、相位、偏振等參量的精確控制，在手機(jī)/車載攝像模組、VR/AR、全息顯示、醫(yī)療傳感與成像等方面有潛在重要應(yīng)用。

「山河光電」成立于2020年底，致力于光的超級感知、光的大容量傳輸、微型顯示以及光計算等方向的超表面光子芯片產(chǎn)品研發(fā)與制造。

據(jù)「山河光電」介紹，光學(xué)超表面是使用半導(dǎo)體工藝在晶圓上批量制備的微米、亞微米級厚度平面器件，可實(shí)現(xiàn)功能集成化（多種光學(xué)功能集成在一個光子芯片上）并可進(jìn)行納米級光波波前的編碼和調(diào)控，因此也被稱為超表面光子芯片或平面光子芯片；可采用無機(jī)材料制造，使其具備傳統(tǒng)玻璃透鏡的環(huán)境與溫度穩(wěn)定性，適用于車輛、航空航天、水下等多種復(fù)雜環(huán)境；可克服傳統(tǒng)光學(xué)透鏡厚重、功能單一、模組工藝復(fù)雜、量產(chǎn)成本高的缺點(diǎn)；這些特點(diǎn)使得超表面光子芯片被認(rèn)為是光學(xué)領(lǐng)域數(shù)百年來最重要的一次變革，其不僅可以革新傳統(tǒng)市場，也將創(chuàng)造具有廣闊前景的新市場。

「山河光電」結(jié)合現(xiàn)代半導(dǎo)體制造工藝與光子學(xué)研究的最新進(jìn)展，獨(dú)立設(shè)計并使用先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)在晶圓上批量制備多種功能集成化的超表面光子芯片器件及模組。公司擁有多項創(chuàng)新專利，相關(guān)產(chǎn)品在消費(fèi)電子、汽車電子、無人機(jī)、安防監(jiān)控、自動駕駛、通信、航空航天及國防軍工等眾多領(lǐng)域具有廣闊的市場前景。「山河光電」現(xiàn)已完成多款超表面光子芯片產(chǎn)品的樣品制作和模組封裝，預(yù)期今年可實(shí)現(xiàn)小規(guī)模量產(chǎn)。

※ 技術(shù)團(tuán)隊方面，山河光電匯聚了海內(nèi)外知名高校、科研院所的博士和多名十余年半導(dǎo)體工藝與晶圓級光模組封測工作經(jīng)驗的產(chǎn)業(yè)專家，并與國內(nèi)外多家高校、科研院所建立了合作關(guān)系。

值得一提的是，「山河光電」CEO是美國著名光學(xué)中心羅切斯特大學(xué)的光學(xué)博士和SPIE高級會員，并被認(rèn)定為國家海外高層次留學(xué)人才，深耕光學(xué)和半導(dǎo)體領(lǐng)域多年，在超表面光子芯片研發(fā)和量產(chǎn)上具備更加全面的視角。歸國之前曾在世界兩大半導(dǎo)體研發(fā)中心之一的IBM研發(fā)聯(lián)盟工作近十年，主持了美國第一臺EUV光刻原型驗證機(jī)Alpha demo tool以及后續(xù)EUV機(jī)型NXE: 3300的工藝驗證工作，在世界上首次實(shí)現(xiàn)了EUV光刻工藝良率，直接參與了14nm、10nm、7nm、5nm和3nm節(jié)點(diǎn)的研發(fā)工作，推動了EUV光刻技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化。其已發(fā)表26篇國際專業(yè)期刊文章和幾十次國際會議邀請報告，授權(quán)發(fā)明專利30 余項，其中美國專利32項。

※ 市場前景方面，美國知名科技研究機(jī)構(gòu)Lux Research預(yù)計未來的光學(xué)超表面市場有望超過500億美元，超表面光子芯片作為前沿技術(shù)正走向落地，市場將迎來爆發(fā)。