今日，華控基金投資的國內(nèi)唯一前道光學(xué)量檢測設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)深圳中科飛測科技股份有限公司（以下簡稱：中科飛測）成功過會。華控基金作為中科飛測的主要股東，圍繞半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上下游技術(shù)創(chuàng)新和自主可控堅定投入，陪伴企業(yè)共同成長。

科技與產(chǎn)業(yè)深度融合，填補國內(nèi)高端半導(dǎo)體質(zhì)控設(shè)備市場空白

中科飛測立足于采用光學(xué)檢測技術(shù)的高端半導(dǎo)體質(zhì)量控制設(shè)備的研發(fā)工作，主要產(chǎn)品為高端半導(dǎo)體質(zhì)量控制設(shè)備，包括檢測設(shè)備和量測設(shè)備兩大類。

檢測設(shè)備的主要功能系檢測晶圓表面或電路結(jié)構(gòu)中是否出現(xiàn)異質(zhì)情況，如顆粒污染、表面劃傷、開短路等對芯片工藝性能具有不良影響的特征性結(jié)構(gòu)缺陷；量測設(shè)備的主要功能則是對被觀測的晶圓電路上的結(jié)構(gòu)尺寸和材料特性做出量化描述，如薄膜厚度、關(guān)鍵尺寸、刻蝕深度、表面形貌等物理性參數(shù)的量測。

質(zhì)量控制設(shè)備是集成電路生產(chǎn)過程中的核心設(shè)備之一，是保證芯片生產(chǎn)良品率的關(guān)鍵。

中科飛測自成立以來，始終堅持自主研發(fā)、自主創(chuàng)新，攻克了多項設(shè)備關(guān)鍵模塊自主化開發(fā)難題。經(jīng)過多年的技術(shù)積累，公司已形成深紫外成像掃描技術(shù)、高精度多模式干涉量測技術(shù)、基于參考區(qū)域?qū)Ρ鹊娜毕葑R別算法技術(shù)等 9 項核心技術(shù)，擁有專利 160 項，核心技術(shù)成功應(yīng)用于各系列產(chǎn)品，創(chuàng)造了良好的經(jīng)濟效益。

目前，中科飛測的產(chǎn)品成功實現(xiàn)科技成果與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的深度融合，獲得國內(nèi)多家龍頭集成電路前道制程及先進(jìn)封裝廠商的設(shè)備驗收和批量訂單。與中芯國際、長江存儲、士蘭集科、長電科技、華天科技、通富微電等集成電路前道制程及先進(jìn)封裝企業(yè)建立了深入的合作關(guān)系，助力客戶實現(xiàn)降本增效目標(biāo)。

同時，公司對高端半導(dǎo)體質(zhì)量控制設(shè)備的持續(xù)研發(fā)推動了國內(nèi)精密零部件供應(yīng)商不斷研發(fā)和完善其產(chǎn)品體系，在部分細(xì)分領(lǐng)域填補了國內(nèi)高端半導(dǎo)體質(zhì)量控制設(shè)備市場的空白，實現(xiàn)了國產(chǎn)化突破。在國家推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的過程中，中科飛測承擔(dān)了國家科技重大專項、國家重點研發(fā)計劃等眾多科研項目，已成為我國半導(dǎo)體質(zhì)量控制設(shè)備領(lǐng)域的中堅力量。

以實現(xiàn)自主可控為己任，全面投資布局半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈

物聯(lián)網(wǎng)、5G 通信、汽車電子等新型應(yīng)用市場的不斷發(fā)展產(chǎn)生了巨大的半導(dǎo)體產(chǎn)品需求，推動半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)入新一輪的發(fā)展周期。全球范圍內(nèi)，晶圓廠產(chǎn)能擴充仍在繼續(xù)，下游需求的不斷發(fā)展為半導(dǎo)體設(shè)備制造產(chǎn)業(yè)的擴張和升級提供了機遇。

憑借巨大的市場容量以及多年的發(fā)展，中國已成為全球最大的半導(dǎo)體消費國和生產(chǎn)國，對檢測和量測設(shè)備的需求將持續(xù)快速增長。然而，中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)整體國產(chǎn)化率的提升還處于起步階段，目前國內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商所使用的半導(dǎo)體設(shè)備仍主要依賴進(jìn)口。如果檢測、量測設(shè)備被人卡脖子，對于國產(chǎn)半導(dǎo)體的制造也將是沉重的打擊。

華控基金以實現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上下游技術(shù)創(chuàng)新和自主可控為己任，重點投資國產(chǎn)有積累、有突破、有創(chuàng)新的技術(shù)領(lǐng)軍企業(yè)，已經(jīng)完成了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的全面投資和布局。

秉持著硬科技投資的初心，華控基金在半導(dǎo)體這個技術(shù)和資金密集的重資產(chǎn)領(lǐng)域堅定投入，陪伴企業(yè)實現(xiàn)成長。在全球經(jīng)濟引擎加速后，華控基金將不斷助力企業(yè)技術(shù)突破創(chuàng)新，全面助力實現(xiàn)國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備供給側(cè)提升，邁上全新臺階。